光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。射频电源的频率直接决定了电场变化的速率，进而影响等离子体的生成和特性。安徽常压等离子清洗机
等离子清洗机通过使用物理或化学方法，可以有效地清洁、活化或改性材料表面。对于陶瓷基板，等离子清洗的主要作用是去除表面的污垢、氧化物、层间介质等杂质，同时通过活化表面，提高其润湿性和粘合性。陶瓷基板处理后的主要优势：1.提高附着力：通过等离子清洗，陶瓷基板的表面可以得到明显改善，其粗糙度和清洁度均提高。这不仅可以提高基板与涂层或贴片的附着力，还能有效防止由于附着力不足导致的涂层脱落或翘曲等问题。2.增强润湿性：等离子清洗处理能够提高陶瓷基板的表面润湿性。对于需要液态材料覆盖或浸润的场合，如封接、焊接等，这种改善将极大地提高生产效率和良品率。3.改性表面：等离子清洗还可以对陶瓷基板表面进行改性。例如，通过引入特定的官能团或改变表面的化学组成，可以提高基板的耐腐蚀性、耐磨性等关键性能。浙江在线式等离子清洗机品牌等离子处理通过在介质中产生等离子体，利用等离子体的高能离子轰击表面，从而改变表面性质。
复合材料边框的耐腐蚀能力较差，容易导致边框在长期使用过程中发生断裂或变形，影响光伏组件的整体结构稳定性和使用寿命。为了有效解决这一问题，可以使用等离子处理，活化复合材料边框表面，提高其表面能，从而提高密封胶点胶质量。经plasma等离子处理后能够在复合材料表面形成极性基团，提高其表面自由能，从而有助于增强其表面附着力，使其更容易与密封胶等粘合剂结合，显著提高密封胶的附着力，避免脱落等问题，从而确保光伏组件的密封性能，提高整体光伏系统的稳定性和可靠性。
等离子体技术的特点是不分材料的几何形状和类型，均可进行PlaSMA等离子处理，对金属、半导体、氧化物、PET纤维、PDMS、PTFE、ITO/FTO导电玻璃、硅片和大多数高分子材料，如液晶高分子、聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、聚四氟乙烯和石墨烯粉末、金属氧化物粉末、聚乙二醇粉末、碳黑粉末、碳纳米管粉末、硼粉、铝粉、荧光粉等都能很好地处理，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗、活化、改性、蚀刻。选择适合的等离子清洗机能保证材料表面不被损伤，也能提升材料物理和化学性能。等离子清洗机用于汽车、芯片制造、显示等行业。
等离子表面处理技术在光伏电池制程中也有着广泛的应用，可用于玻璃基板表面活化，阳极表面改性，涂保护膜前处理等，在提高光伏元件表面亲水性、附着力等方面具有明显的优势。大气等离子清洗机SPA-2800采用稳定性高的移相全桥软开关电路，拥有稳定的模拟通信数据传输方式，等离子体均匀，能够实现高效清洗，效果稳定且时效性长，能够满足光伏边框的表面处理需求。等离子处理完成后，可使用接触角测量仪验证其处理后的效果，通过对比前后的接触角数据、极性分量、色散分量、表面能等数值有效分析和判断等离子处理的有效性。等离子体可以实现清洁、改性、刻蚀等目的。福建在线式等离子清洗机技术指导
常温等离子清洗机原理在于“等离子体”，通过气体放电形成，可以在常温、常压的状态下进行产品的处理。安徽常压等离子清洗机
随着科技的进步和市场需求的变化，Plasma封装等离子清洗机也在不断进行技术创新和升级。一方面，为了提高处理效率和效果，研究人员正在探索更高频率、更高能量的等离子体产生技术，以及更优化的工艺气体组合和反应条件。另一方面，为了满足不同行业、不同材料的需求，Plasma封装等离子清洗机正在向多功能化、智能化方向发展。例如，通过集成传感器和控制系统，实现对清洗过程的实时监测和自动调节；通过开发软件和算法，实现对不同材料、不同污染物的准确识别和高效处理。此外，随着环保意识的提高和绿色生产理念的普及，Plasma封装等离子清洗机在设计和制造过程中也将更加注重环保性能，采用低能耗、低排放的设计理念和技术手段。安徽常压等离子清洗机
