面板厂为补偿较低的开口率,多运用在背光模块搭载较多LED的技术,但此作法的缺点是用电量较高。若运用NIL制程,可确保适当的开口率,降低用电量。利用一般曝光设备也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光设备一次可形成的图样面积较小。若要制造55吋面板,需要经过数十次的曝光制程。不仅制程时间长,经过多次曝光后,在图样间会形成细微的缝隙,无法完整显示影像。若将NIL技术应用在5代设备,可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜图样。在8代基板可制造6片55吋面板,6次的压印接触可处理完1片8代基板。南韩业者表示,在玻璃基板上形成偏光图样以提升质量的生产制程,是LCD领域中***一个创新任务。若加速NIL制程导入LCD生产的时程,偏光膜企业的营收可能减少。(来自网络。SmartNIL可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。重庆纳米压印推荐型号
EVG®720自动SmartNIL®UV纳米压印光刻系统自动全视野的UV纳米压印溶液达150毫米,设有EVGs专有SmartNIL®技术EVG720系统利用EVG的创新SmartNIL技术和材料专业知识,能够大规模制造微米和纳米级结构。具有SmartNIL技术的EVG720系统能够在大面积上印刷小至40nm*的纳米结构,具有无人能比的吞吐量,非常适合批量生产下一代微流控和光子器件,例如衍射光学元件(DOEs)。*分辨率取决于过程和模板如果需要详细的信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。也可以访问岱美仪器技术服务有限公司的官网,获得更多信息。重庆纳米压印推荐型号SmartNIL 非常适合对具有复杂纳米结构微流控芯片进行高精度图案化,用在下一代药 物研究和医学诊断设备生产。
曲面基底上的纳米结构在许多领域都有着重要应用,例如仿生学、柔性电子学和光学器件等。传统的纳米压印技术通常采用刚性模板,可以实现亚10nm的分辨率,但是模板不能弯折,无法在曲面基底上压印制备纳米结构。而采用弹性模板的软压印技术可以在无外界提供压力下与曲面保形接触,实现结构在非平面基底上的压印复制,但是由于弹性模板的杨氏模量较低,所以压印结构的分辨率和精度都受到限制。基于目前纳米压印的发展现状,结合传统的纳米压印技术和软压印技术,中国科学院光电技术研究所团队发展了一种基于紫外光固化巯基-烯材料的亚100nm分辨率的复合软压印模板的制备方法,该模板包含刚性结构层和弹性基底层。
首先准备一块柔性薄膜作为弹性基底层,然后将巯基-烯预聚物旋涂在具有表面结构的母板上,弹性薄膜压印在巯基-烯层上,与材料均匀接触。巯基-烯材料可以在自然环境中固化通过“点击反应”形成交联聚合物,不受氧气和水的阻聚作用。顺利分离开母板后,弹性薄膜与固化后的巯基-烯层紧密连接在一起,获得双层结构的复合柔性模板。由于良好的材料特性,刚性巯基-烯结构层可以实现较高的分辨率。因此,利用该方法可以制备高 分辨的复合柔性模板,经过表面防粘处理后可以作为软压印模板使用。该研究利用新方法制备了以PDMS和PET为弹性基底的亚100nm线宽的光栅结构复合软压印模板。相关研究成果发表于《纳米科技与纳米技术杂志》(JournalofNanoscienceandNanotechnology)。(来自网络。分步重复刻印通常用于高效制造晶圆级光学器件或EVG的Smart NIL工艺所需的母版。
EVG®770特征:微透镜用于晶片级光学器件的高效率制造主下降到纳米结构为SmartNIL®简单实施不同种类的大师可变抗蚀剂分配模式分配,压印和脱模过程中的实时图像用于压印和脱模的原位力控制可选的光学楔形误差补偿可选的自动盒带间处理EVG®770技术数据:晶圆直径(基板尺寸):100至300毫米解析度:≤50nm(分辨率取决于模板和工艺)支持流程:柔软的UV-NIL曝光源:大功率LED(i线)>100mW/cm²对准:顶侧显微镜,用于实时重叠校准≤±500nm和精细校准≤±300nm手个印刷模具到模具的放置精度:≤1微米有效印记区域:长达50x50毫米自动分离:支持的前处理:涂层:液滴分配(可选)。SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此还可以实现无人可比的吞吐量。重庆纳米压印推荐型号
EVG开拓了这种非常规光刻技术,拥有多年技术,掌握了NIL,并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量化生产。重庆纳米压印推荐型号
SmartNIL是行业领仙的NIL技术,可对小于40nm*的极小特征进行图案化,并可以对各种结构尺寸和形状进行图案化。SmartNIL与多用途软戳技术相结合,可实现无人可比的吞吐量,并具有显着的拥有成本优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期前景,即纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本,大批量替代光刻技术。注:*分辨率取决于过程和模板。如果需要详细的信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。重庆纳米压印推荐型号