光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。在线式等离子清洗机在IC封装行业中的应用越来越广。天津宽幅等离子清洗机厂商
等离子清洗机在技术上不断推陈出新,以满足日益增长的市场需求。现代等离子清洗机普遍采用高频电源驱动技术,能够提供更稳定、更高效的等离子体产生能力,提高清洗效率和稳定性。同时,智能控制系统的引入使得设备能够自动监测清洗过程中的各项参数,并根据实时数据进行调节和优化,降低了人工成本和操作难度。此外,新型等离子产生技术的出现,如微波等离子清洗技术、射频等离子清洗技术等,进一步提高了等离子体的产生效率和稳定性,拓宽了等离子清洗机的应用范围。在绿色环保和可持续发展理念的推动下,等离子清洗机在设计和制造过程中更加注重环保性能,采用低能耗、低排放的设计理念,符合绿色生产和可持续发展的要求。江西晟鼎等离子清洗机技术参数在光伏电池制程中,等离子表面处理可用于玻璃基板表面活化,阳极表面改性,涂保护膜前处理等。
等离子体处理是聚合物表面改性的一种常用方法,一方面等离子体中的高能态粒子通过轰击作用打断聚合物表面的化学键,等离子体中的自由基则与断开的化学键结合成极性基团,从而提高了聚合物表面活性;另一方面,高能态粒子的轰击作用也会使聚合物的表面污染物从材料表面脱落的物理反应,同时微观形貌发生改变—表面粗糙度变大。从化学改性的角度,等离子体与材料表面反应生成新的化合物,例如氧化物和氢化物,这些化合物能够提升材料表面的亲水性和粘附性。在光伏组件制造中,这种处理可以增强材料的粘接力,从而提高整体的结构稳定性和耐久性。晟鼎大气等离子清洗机SPA-2800,广泛应用于光伏等工业产品的表面处理。尤其是在光伏组件的制造和组装过程中,通过等离子体在大气环境下进行表面清洗和改性光伏边框,从而改善材料表面性能。
等离子清洗机通过使用物理或化学方法,可以有效地清洁、活化或改性材料表面。对于陶瓷基板,等离子清洗的主要作用是去除表面的污垢、氧化物、层间介质等杂质,同时通过活化表面,提高其润湿性和粘合性。陶瓷基板处理后的主要优势:1.提高附着力:通过等离子清洗,陶瓷基板的表面可以得到明显改善,其粗糙度和清洁度均提高。这不仅可以提高基板与涂层或贴片的附着力,还能有效防止由于附着力不足导致的涂层脱落或翘曲等问题。2.增强润湿性:等离子清洗处理能够提高陶瓷基板的表面润湿性。对于需要液态材料覆盖或浸润的场合,如封接、焊接等,这种改善将极大地提高生产效率和良品率。3.改性表面:等离子清洗还可以对陶瓷基板表面进行改性。例如,通过引入特定的官能团或改变表面的化学组成,可以提高基板的耐腐蚀性、耐磨性等关键性能。等离子清洗机活化可确保对塑料、金属、纺织品、玻璃、再生材料和复合材料进行特别有效的表面改性。
等离子体不仅能有效地处理高分子聚合物表面的有机物污垢,同时还可用于PCBA及PCB、陶瓷面板、玻璃面板,金属面板等材质表面有机物的精细化清洁,"它对于这些材料的表面污染物的去除、提高表面能、表面改性,从而改善后工序之键合或粘合工艺。下面,我们一起来认识下等离子清洗机在PCB制作工艺中的相关应用案例。等离子清洗机清洁在PCB制作工艺中,相比湿法清洗更显优势。对于高密度多层板(HDI)微孔,多层FPC除胶渣、Rigid-FlexPC除胶渣、FR-4高厚径(纵横)比微孔除胶渣(Desmear)等,效果更明显更彻底。等离子清洗机清洁相比化学药水除胶渣更稳定,更彻底,良率可提高20%以上。等离子清洗机具有高效的清洗速度和自动化程度,可以快速完成涤纶织物的清洗工作,提高了生产效率。山西大气等离子清洗机作用
在线式等离子清洗机的清洗速度比传统清洗方法快。其清洗过程中,不需要预热和冷却,可以直接进行清洗。天津宽幅等离子清洗机厂商
复合材料边框的耐腐蚀能力较差,容易导致边框在长期使用过程中发生断裂或变形,影响光伏组件的整体结构稳定性和使用寿命。为了有效解决这一问题,可以使用等离子处理,活化复合材料边框表面,提高其表面能,从而提高密封胶点胶质量。经plasma等离子处理后能够在复合材料表面形成极性基团,提高其表面自由能,从而有助于增强其表面附着力,使其更容易与密封胶等粘合剂结合,显著提高密封胶的附着力,避免脱落等问题,从而确保光伏组件的密封性能,提高整体光伏系统的稳定性和可靠性。天津宽幅等离子清洗机厂商