极紫外光刻(英语:Extremeultra-violet,也称EUV或EUVL)是一种使用极紫外(EUV)波长是下一代光刻技术,其波长为13.5纳米,预计将于2021年得到广泛应用。几乎所有的光学材料对13.5nm波长的极紫外光都有很强的吸收,因此,EUV光刻机的光学系统只有使用反光镜。我们上海微联实业的RSA905铝合金材料正是适合做反射镜的材料,很好得避免了材料吸收紫外线的问题。增大紫外线的反射率。RSP铝合金的微晶结构使其可以应用在空间观测设备上。在空间的低温环境下,铝合金反射镜与其安装的支撑结构的金属材料的膨胀系数接近。,降低其膨胀系数不匹配的影响,可以避免了光机系统材料膨胀系数不一致带来的热应力和应变。保证其光学系统参数长期稳定在一个范围值内。RSP铝合金可以用现有的车,磨,铣等工艺快速制作加工反射镜基本结构,充分发挥铝合金材料易成型的特点。同时可以用单点金刚石车削工艺加工反射镜镜面。可以直接获得满足光学系统成像质量高的光滑表面。RSP铝合金的抗疲劳性好,在航空航天材料应用中有良好的性价比。可以做反射镜的微晶铝合金。通用的微晶铝合金作用
微晶铝合金的精细和均匀的微观结构,通过特殊工艺生产的材料特别适用于金属(铝)反射镜、模具和设备外壳。比如镜子模具框架结构安装件,材料本身均匀的细颗粒分布使得生产镜子或模具的镜子或模具成为可能,镜子和模具的表面光滑很高,通常也不需要涂覆涂层。可以生产反射率提高50%的镜子,而且速度更快、更便宜,可以省去额外的加工步骤。在模具的情况下,众所周知,通过对钢更好的热传导,压力压铸过程的工作时间可以减半。精细的微观结构使得通过用金刚石工具抛光可以获得非常光滑的表面。这降低了成本,并在原型生产和小批量生产的情况下节省了大量时间。在镜子框架中应用低热膨胀合金可防止安装镜子的框架膨胀,与其他较重的金属(例如镍和钴)相比具有优势。车床微晶铝合金RSA-905微晶铝合金给社会带来了什么好处?
普通铝合金冷却速度慢带来材料内部产生粗大的枝晶,热应力失衡。造成表面不平整,热膨胀系数大。后期进一步的精度加工难度大。RSP微晶铝合金采用的是快速冷凝法,使的两种不同金属形成均质的合金,使晶粒越细。这样使得铝合金表面平整度高,获得更高的强度和韧性。因为是硅铝合金,很好的综合了两种金属的特点。高耐磨性能和精加工性能。同时材料的抗疲劳性能也得到提高。应用领域:航天工业,如航空航天紧固件,结构件。高导热材料。电子封装,如散热器,载具,微波射频应用。光电设备,如激光器夹具,反射镜。设备制造,如活塞气缸,屏蔽设备,精密设备夹具,载具。
微晶铝合金模具具有更好的表面质量,。微晶铝合金加工性能较好,可以进行高速切削,切削加工速度比模具钢的提高了40%,能有效地缩短模具的制造周期。利用高速加工的铝合金模具的表面比钢制模具的表面更加光滑,有利于脱模。铝合金模具的可精细加工性能更好,使得铝合金模具能更简单方便地加工出纤细模具。微晶铝合金模具的热传导性能是钢材的4—5倍,加热冷却的速度更快,脱模时间更短,能耗更低,模具的生产效率得到很大提升。由于微晶铝合金模具较好的加工性能,使得机械和刀具的磨损也能有效的降低,从而延长了设备的使用寿命。同时也使工人的劳动强度降低,改善了工人的工作环境。模具的抛光耗时而且成本较高,一般模具的制造成本中有大约30%是用于抛光的。微晶铝合金模具的强度高而稳定,抛光更加简单,能快速的到达镜面效果为晶铝合金可以做活塞汽车结构件。
微晶结构铝合金材料的应用,RSA-905微晶结构,适合精密抛光加工,应用反射镜和光学透镜模具。特点:1,表面平整度好小于1nm2,不需要在表面镀层3,成型后稳定性高4,热膨胀系数低5,高导热率6,轻量化解决方案。RSA-443热稳定性和机械性能高,可以应用于高精密工业半导体部件。特点:1,优越的可加工性2,比刚度高3,成型后稳定性高4,热膨胀系数低5,高导热率6,轻量化解决方案。微晶RSA合金晶粒大小分布均匀,容易得到表面高平整度。材料抗疲劳性能好,增加材料使用寿命。微晶铝合金可以做检波器。半导体微晶铝合金仪器
适合做反射镜的6061微晶铝合金。通用的微晶铝合金作用
普通铝合金冷却速度慢会带来内部产生粗大的枝晶,热应力失衡。造成表面不平整,热膨胀系数大。微晶铝合金采用的是快速冷凝法,使的两种金属形成均质的合金,使晶粒越细。这样使得铝合金表面平整度高,获得更高的强度和韧性。因为是硅铝合金,更是很好的综合了两种金属的特点。具有高耐磨性能和精加工性能。应用领域:航天工业,如航空航天紧固件,结构件,反射镜,高导热材料。电子封装,如散热器,载具,微波射频应用。光电设备,如激光器夹具,反射镜。设备制造,如活塞气缸,屏蔽设备,精密设备夹具,载具。通用的微晶铝合金作用