天津实验室微型真空泵

为了使国产真空滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。折叠直联旋片泵，随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。往复真空泵的主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞。天津实验室微型真空泵

罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。天津实验室微型真空泵水环真空泵串联大气喷射器可达270~670Pa。

卧式往复真空泵一般为有油式，立式多为无油式。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

由于真空泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。

环境对真空泵的影响，主要是指被抽气体对体系的污染，在钢液处置过程中，钢液会放出很多的气体，同时也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵，这些小颗粒会堆积粘附在泵体上，减小了抽气管路流导，延长了抽气时间，下降了泵的抽气功能。泵体布局的影响：关于单级真空泵，简单磨损的部位是蒸汽的喷嘴，喷嘴被磨损后，不只会影响泵的功能，还会增加体系的运转本钱。所以真空泵在使用时要非常注意周围环境和蒸汽喷嘴的影响。往复真空泵活塞从右端向左端运动，此时吸气阀关闭。天津实验室微型真空泵

水环真空泵是一种粗真空泵。天津实验室微型真空泵

在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专门用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中，把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。"排气口允许较大阻力Por值"这一参数就是标定泵的排气能力，让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。简单地说，对于排气阻力大的系统，我们的选型范围是：FM系列、FAA系列、PCF系列；对于排气阻力小的系统，选型范围是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。天津实验室微型真空泵