在真空泵选型前,我们必须弄清楚几个基础概念:真空,理论上是指容积里面不含有任何的物质。(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。实际应用中,真空度,通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限压强3300Pa;旋片式真空泵极限压强约10Pa)。真空泵的维护检查油的位置。经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油。VP0435A真空泵制作
简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到的简化。在某些中真空应用中,需要进入10-1Pa范围,这对罗茨泵的二级机组往往难于实现,而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa,所以中真空应用也常用三级机组。真空泵厂家推荐真空泵泵腔内无压缩,无排气阀。
真空泵达到一定临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求,必然会引起真空机组不能正常工作。但如在高低真空泵之间再连接一台中真空泵,便可起到承上启下的作用,流量连续,而且各泵皆可工作在较好的状态。罗茨泵能工作在中真空范围,是适合的,故又称罗茨增压泵,由于其压缩比不高,正好可连接几Pa至几百Pa的范围。当三级高真空机组进入较高的真空度时,由于主泵的排气流量明显减少,此时只靠一台较小的前级泵便可维持抽气的连续性,在实际运用中这是经常采用的方法,这样可减少机组的能耗。
有些国家和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨真空泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。目前,国内气冷式直排大气罗茨真空泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间。
罗茨真空泵转子由0°转到180°的抽气,在0°位置时,下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时,该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时,下转子封入的气体,连同返冲的气体一起排向泵外。这时,上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时,上转子封入的气体与排气口相通,重复上述过程。180°位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。往复真空泵活塞从右端向左端运动,此时吸气阀关闭。实验室隔膜真空泵制作报价
干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美目前已经成为微电子、半导体等行业选择真空获得设备。VP0435A真空泵制作
卧式往复真空泵一般为有油式,立式多为无油式。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。VP0435A真空泵制作