宁夏二氧化钛粒度分析仪厂家

磨料的粒度测量：以上我们了解到磨料在CMP工艺中起到了关键性的作用，CMP磨料颗粒的典型尺寸范围是50-250纳米，典型的过大聚集体为1-10微米，并出现在ppm范围内。颗粒表征的挑战来自于精确确定纳米级颗粒尺寸，同时还识别出相对较少的微米级聚集体。CPS纳米粒度分析仪表征磨料颗粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的颗粒，提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。较小峰值宽度可小至峰值直径的2%，粒径差别在大于3%的窄峰可以被完全分辨出来。驰光机电科技有限公司从国内外引进了一大批先进的设备，实现了工程设备的现代化。宁夏二氧化钛粒度分析仪厂家

CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展，电子器件尺寸缩小，要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分，其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm，其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸，因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用！欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题！山西高精度纳米粒度分析仪哪家好驰光机电团队从用户需求出发。

颗粒形状信息很重要，混合样品或未知组分样品，需要高分辨率的数量分布来准确分析样品中的少数特殊颗粒，正在考虑将实验室检测扩大到工业规模的检测，我们还提供原位在线粒形分析系统，可用于高温，高压以及腐蚀性环境。动态测量系统，显微镜同等级的精度真实原始数据的存储，强大的预处理工具，高质量的图像分析结果，可精确测量非球形颗粒，供40个ISO标准粒形参数，包含粒径、形状因子、球形度、圆度、对比和表格，可保存分析测量图像和录保，图像分析结果可追溯。

而CMP工艺离不开研磨料的发展，那么对于磨料的颗粒粒度表征就显得尤为重要了。CMP就是用化学腐蚀和机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平滑处理。将硅片固定在抛光头的较下面，将抛光垫放置在研磨盘上，抛光时，旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上，由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的研磨液在硅片表面和抛光垫之间流动，然后研磨液在抛光垫的传输和离心力的作用下，均匀分布其上，在硅片和抛光垫之间形成一层研磨液液体薄膜。驰光机电科技不懈追求产品质量，精益求精不断升级。

光子相关光谱法就根据特定方向的光子涨落起伏分析其颗粒大小。算法：采用除符合GB/T19627-2005/IS013321：1996标准的累积法外，还有R-R算法，可以算出纳米粒子样品的D50、D10及D90，并给出分布曲线。高灵敏度与信噪比：探测器采用专业级进口光电倍增管（PMT），对光子信号具有较高的灵敏度和信噪。纳米粒度仪分辨能力：中心部件采用CR-70-1-245数字相关器，具有识别5ns的光子脉冲分辨率。运算功能：采用高速数字相关器CR-70-1-245有245个通道进行数据采集与实时相关运算。稳定的光路系统：采用635nmLD激光光源和光纤技术搭建而成的光路系统。驰光机电科技有限公司愿和各界朋友真诚合作一同开拓。四川病毒颗粒分析仪报价

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一般离心式分析仪的动态范围为40，但是CPS系统的动态范围可以超过1000。过去很多需要消耗整夜时间而且低精度的测量，现在可以使用示差沉降法快速测量，而得到高精度的结果。低噪声光源/检测头：CPS纳米粒度分析仪的光学系统和电路经过精心设计以降低信号中的噪声，信噪比通常为50000左右，低噪声使得系统具有很高的灵敏度，可检测窄峰的重量通常小于0.01微克，这使得对于微克样品的常规高精度分析变得可行。CPS系统以合理的价格提供高精度、高动态范围和高灵敏度的粒度分析解决方案。宁夏二氧化钛粒度分析仪厂家