高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强,传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间,因为随着压力降低泵的抽速在减小,特别是对于周期性抽气的真空机组,对达到工作真空度的时间是有要求的,预抽时间越长,进入工作真空度的时间也越长,故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合,可在较短的时间达到主泵可以工作的压力。水环真空泵开始用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。液环真空泵直销
从国外罗茨真空泵生产情况来看,国外几家大公司,他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前,国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场,这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声,彻底解决轴封漏油问题,改进泵的外观质量,提高泵内的光洁度和清洁度。AC线性驱动活塞真空泵厂家真空泵达到一定临界压力时,往往抽速会减小。
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。
欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
卧式往复真空泵一般为有油式,立式多为无油式。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。无油真空泵哪家好
抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。液环真空泵直销
喷嘴是影响真空泵性能的重要部件,存在的问题有:喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏,不管采取何种预防措施,喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时,管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴;另一方面,真空泵系统停用时,蒸汽管道易生锈,锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。蒸汽的影响:我们常用的真空泵为蒸汽喷发真空泵,是以过饱满水蒸汽为作业介质的,蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能,还会腐蚀蒸汽喷嘴,添加泵的蒸汽用量,使泵的作业状况变得不稳定。液环真空泵直销