洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。厂房设计口碑商家欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。贵州净化车间设计哪家好
洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施,并应根据需要设置生活用室和其它用室。人员净化用室和生活用室的设置应为:人员净化用室,应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更换洁净工作服等房间。厕所、盥(guàn)洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等其它用室,可根据需要设置。人员净化用室和生活用室的设计,应符合下列要求:人员净化用室的入口处,应设净鞋措施。存外衣和更洁净工作服应分别设置。外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜,洁净工作服宜集中挂入带有空气吹淋的洁净柜内。盥(guàn)洗室应设洗手和烘干设施。空气吹淋室应设在洁净区人员入口处,并应与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按比较大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设旁通门。当为5级以上垂直单向流洁净室时,宜设气闸室。洁净区内不宜设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。云南净化工程设计的特点推荐厂房设计就找成都博一医药设计有限公司。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。①洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。②洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。③并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
模块是指一组具有同一功能和接合要素(连接部位的形状、尺寸、连接件间的配合或啮合等),但性能、规格或结构不同却能互换的单元。1.2模块化设计特点在激烈的市场竞争中,模块化设计能为企业带来巨大效益,具体表现在:(1)模块是产品知识的载体,大量利用已经过试验、生产和市场验证的模块,可以降低设计风险,提高产品的可靠性和设计质量;(2)模块的使用可以缩短设计周期;(3)降低成本,通过设计过程的重组,以大规模的生产成本实现用户产品的批量化生产及大规模生产条件下的个性化生产。定制厂房设计如何选择?
气流流型的设计应符合下列要求:1.气流流型应满足空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级要求为1~4级2.时,应采用垂直单向流;空气洁净度要求为5级时,应采用垂直单向流或水平单向流。3.空气洁净度要求为6~9级时,宜采用非单向流。4.洁净室工作区的气流分布应均匀。5.洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺要求。洁净室的送风量,应取下列三项中的最大值:1.为保证空气洁净度等级的送风量。2根据热、湿负荷计算确定的送风量。3.向洁净室内供给的新鲜空气量。4.为保证空气洁净度等级,送风量应按下表中有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。中成药净化工程厂房设计就找成都博一医药设计有限公司。重庆化学原料药设计
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洁净厂房备用照明的设置应符合下列要求:1.洁净厂房内应设置备用照明。2.备用照明宜作为正常照明的一部分。3.备用照明应满足所需场所或部位进行必要活动和操作的最低照度。洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准设置疏散标志。在消防口处应设置红色应急照明灯。——通信洁净厂房内应设置与厂房内外联系的通信装置。洁净厂房内生产区与其它工段的联系,宜设生产对讲电话。洁净厂房根据生产管理和生产工艺特殊需要,宜设置闭路电视监视系统。洁净厂房的生产区(包括技术夹层)、机房、站房等均应设置火灾探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。洁净厂房应设置消防值班室或控制室,其位置不应设在洁净区内。消防控制室应设置消防电话总机。贵州净化车间设计哪家好
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