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  (三)洁净室控管之项目


  1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。


  2. 能防止微尘粒子之产生。


  3. 温度和湿度之控制。


  4. 压力之调节。


  5. 有害气体之排除。


  6. 结构物与隔间之气密性。


  7. 静电之防制。


  8. 电磁干扰预防。


  9. 安全因素之考虑。


  10. 节能之考量。


  (四)洁净室之分类


  1.乱流式


  空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。


  优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。


  缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再运行,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。


对于来流的洁净度,对通过高效以上过滤器送风的单向流洁净室来说是不成问题的。洁净室环境检测诚信推荐

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洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间,建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子,空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的,而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.15μm的固体和液体粒子。广东洁净室检测规范性强蔚亚科技提供科学、公正、具有法律效力的检测数据和报告。

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热球风速仪。热球风速仪也是基于散热与风速有关的原理制成的,分测头和指示仪表两部分。测头由电热线圈(或电热丝)和热电偶组成。当电热线圈通以额定电流时,它的温度升高,加热了玻璃球,因玻璃球体积很小,球体的温度可以认为与电热线圈的温度相同,通过电流时热电偶便产生热电势,指示仪表则指示出相应的热电势的大小。玻璃球的温度升降、热电势相应的大小与气流流速有关,气流流速大,球体散热快,温升越小;反之,气流流速小,球体散热慢,温升越大,热电势也就越大。按此原理,指示仪表可直接显示出风速。!

单向流洁净室的原理和特性

   ⑴定义

   单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。

   ⑵原理

   单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。

   要保证活塞作用的实现,*重要一点是高效过滤器必须满布。当然,过滤器是有边框的,顶棚也有边框,不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度:

   正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%,水平单向流应小于40%,否则就是局部单向流了。

   ⑶特征指标

   ①流线平行度(流线平行性)

   流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行(在0.5m距离内线间夹角不能小于15°),又要求流线尽可能垂直于送风面(其倾角*小不能小于65°)。

   ②乱流度(速度不均匀度)

   速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 一般空调有的只有粗效一级过滤,要求较高的是粗效中效二级过滤处理。

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洁净室里人员的要求

洁净室工作的人员要定期接受污染控制理论培训。他们通过气闸,空气淋浴器和/或更衣室进出洁净室,他们必须穿专门设计的衣服,包裹住皮肤和身体自然产生的污染物。

根据洁净室的分类或功能,工作人员的着装可能只需实验服和头套简单防护,也可能完全包裹的不暴露任何皮肤的全身防护。

洁净服是用来防止颗粒和或微生物从穿着者的身体释放和污染环境。洁净服本身不得释放颗粒或纤维,以防止污染环境。这种类型的人员污染可以降低半导体和制药工业中的产品性能,并且它可以导致例如医疗保健行业中的医务人员和患者之间的交叉污染。

洁净防护装备包括防护服、靴子,鞋子,围裙,胡须套,圆帽,口罩,工装/实验服,长袍,手套和指套,袖套和鞋、靴套。所用洁净服的类型应反映洁净室和产品类别。低级别的洁净室可能需要特殊的鞋,鞋底完全光滑,不会站上灰尘或污垢。但是考虑到安全原因,鞋底又不能造成滑倒的危险。进入洁净室通常都需要穿洁净服。10,000级洁净室可以使用简单的实验服,头套和鞋套。对于100级洁净室,需要全身包裹,带拉链的防护服、护目镜、口罩、手套和靴套。

此外还要控制洁净室内人员的数量,平均4~6m2/人,操作要轻缓,避免大幅度和快速移动。 合格的第三方洁净室检测机构普遍要求要有具体的洁净相关检测。广东实验室检测方便客户

传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间,或洁净室与洁净室之间的小货物传递。洁净室环境检测诚信推荐

室内静压差的测试1、仪器设备及环境测量仪器倾斜微压计、数字微压计等。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有设计要求的各个相邻区域实施检测。3、静压差检测结果应符合下列规定。(1)相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。(2)洁净室与室外静压差应大于10Pa。(3)洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。4、操作过程及判定(1)将所有的门关闭,将测定用胶管口径比较好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处,垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动**小。(2)静压差的测定应从平面上**里面的房间,通常也就是洁净度级别比较高的房间,与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定,直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。(3)对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室,还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。洁净室环境检测诚信推荐

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每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...

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