洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性,是检验洁净室质量的标准,该标准根据区域环境、净化程度等因素,分为若干等级,常用的有国际标准和国内区域行业标准,一些净化工程公司,在通行标准之外,还设有自身执行的高于国际化通行标准的净化指标,净化能力和环境适应力远超国际品牌。验证生物洁净室的步骤主要分为三个部分:1、验证安装;2、验证操作;3、验证性能。洁净室环境检测值得推荐
高效过滤器检漏步骤如下:
1、 将灰尘粒子计数器用打针用水及75%酒精擦试消毒后再经紫外线映照30分钟传入干净区。
2、 将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。
3、 打开电源。仪器进行自检、选项后,把测量塑料管从后面板上拔下。端口放置在需要测量的位置。
4、 检测时采样头离高效过滤器2—4厘米,沿高效过滤器内边框及中间缓慢扫描,每块高效过滤器至少测试出5个点,观察显示数据。测试终了后,测试完毕后,将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后面板上进行自检,然后关闭电源。
结果:检测各点的悬浮粒子若超出洁净区要求的范围则有泄漏现象,需堵漏或更换。
高效过滤器检漏的目的:在洁净室中,高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此,高效过滤器安装或更换后,必须对过滤器的安装连接处进行检漏,以确保洁净室的洁净度符合要求。精确检测高效过滤器的质量,可以防止高效过滤器走漏,影响出产。 湖北电子厂房环境检测值得推荐传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间,或洁净室与洁净室之间的小货物传递。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
空气净化方法1、整体净化:可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧地以同速流向另一侧,使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外,而达到好的除菌效果。⑴高效过滤除菌技术:空气洁净主要靠高效或超高效过滤设备,向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。过滤洁净原理:①网截阻留;②筛孔阻留;③静电吸引阻留;④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此,过滤洁净技术是一种综合作用的结果。⑵滤材结构:生物洁净室所用滤材级别多数为高效或超高效滤材,所用滤材有:玻璃棉制滤材、高级纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。高效滤材对空气中0.5μm的颗粒的阻留率能达到90%~99%,超高效滤材可阻留0.3μm的颗粒99.9%以上。洁净室环境检测依据行业标准及国家标准。
六检测方法及结果判定(一)风量或风速的测试1、抽样对有设计要求的区域进行检测。2、风量风速必须首先对净化空调各项效果进行检测。(1)乱流洁净室系统的实测风量值应大于各自的设计风量值但不应超过20%;实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%;室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。(2)单向流层流洁净室实测室内平均风速应大于设计风速但不应超过20%;总实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%。3、操作过程及判定(1)乱流洁净室a.对于不安装过滤器的风口可按综合效能普通通风空调风口风量测试的方法进行。b.对于安有过滤器的风口,根据风口形式可选用辅助风管,即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段连接于过滤器风口外部在辅助风管出口平面上,按**少测点数不少于6点均匀布置测点,用热球风速仪测定各点风速,以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。c.对于安有同类扩散板的风口,可以根据扩散板的风量阻力曲线和实测扩散板阻力,查出风量测定时用微压计和毕托管或用细橡管代替毕托管,但都必须使测孔平面与气流方向垂直使测值正确反映静压值。洁净室环境验证(HVAC系统,IQ, OQ, PQ。包括:粒子、浮游菌、沉降菌、表面样、温湿度)。浙江洁净室环境检测认真负责
按气流组织分类,洁净室可分为三类:单向流、层流、洁净室。洁净室环境检测值得推荐
沉降菌测定法:沉降菌指落在地面或物体表面的灰尘中携带的细菌。在无菌操作台开启的状态下,取内径90毫米的无菌培养皿若干,无菌操作分别注入融化并冷却至45℃的营养琼脂培养基越15毫升,倒置于30~35℃培养箱培养48小时,证明无菌后备用。将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在指定区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿),在空气中暴露30分钟,采集沉降菌,盖好平皿盖儿,置30-35℃培养箱内培养48小时,取出计数,车间内应为操作状态。检测沉降菌数量,每碟小于或等于10个,便能达到10万级净化车间标准。洁净室环境检测值得推荐
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每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...