单向流洁净室的原理和特性
⑴定义
单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。
⑵原理
单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。
要保证活塞作用的实现,*重要一点是高效过滤器必须满布。当然,过滤器是有边框的,顶棚也有边框,不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度:
正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%,水平单向流应小于40%,否则就是局部单向流了。
⑶特征指标
①流线平行度(流线平行性)
流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行(在0.5m距离内线间夹角不能小于15°),又要求流线尽可能垂直于送风面(其倾角*小不能小于65°)。
②乱流度(速度不均匀度)
速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 蔚亚科技检测技术严格按照国家标准及行业标准严格执行。上海洁净工作台检测值得推荐
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
河北实验室检测规范性强运行确认是要证明厂房、设施和设备的稳定、可靠的运行并符合设计的标准。
洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间,建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子,空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的,而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.15μm的固体和液体粒子。
洁净室风量及换气次数检测的意义洁净室的洁净度主要是靠送人足够量的洁净空气,以置换、稀释室内在生产过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压,以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此,洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。洁净室利用送人洁净空气稀释室内空气污染物,或利用排风带出室内空气污染物,排风的同时,靠送风补充室内空气,形成换气。风量越大,污染物排除越快。当污染物排出速率高于产生速率时,空气中污染物浓度减少,洁净度提高;当污染物排出速率与产生速率相等时,空气中污染物浓度维持不变,洁净度不变;当污染物排出速率低于产生速率时,空气中污染物浓度增加,洁净度下降。所以,要达到一定的洁净度,就必须保证足够的送风量和排风量。但是,过大的风量会造成高效过滤器送风断面风速过高,过滤效率下降以及能源浪费等现象。风量检测的目的是判断各个风口的送风量、回风量、排风量等是否满足设计要求。换气次数的检测目的则是判断洁净室是否达到了设计要求的换气次数。风量和换气次数检测的意义是为判断是否满足设计要求提供依据。验证生物洁净室的步骤主要分为三个部分:1、验证安装;2、验证操作;3、验证性能。
如何维持良好的压差稳定性1、定期更换新风滤网,以减少新风滤网堵塞造成的压差降低。2、定期更换初效、中效过滤器,以减少送风量的波动带来的压差混乱。3、不要频繁地开门、关门,以免自控系统反复调节出现失灵和压差紊乱。4、减少每次开、关门时间,以免出现风量泄漏、压差降低超过系统的调节围。5、关门必须关严,否则漏风量过大,会造成压差混乱。6、使用自动门,可以设定开门时间、保持时间、关门时间,保证压差不受到很大的波动影响。7、定期检查每一个门的密封性。8、定期检查现场的压差装置及显示数据。9、随时监控在线压差显示系统的数据,随时了解现场发生的状况,并及时提醒操作人员注意压差的稳定保持。各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。湖南洁净室环境检测方便客户
洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65%。上海洁净工作台检测值得推荐
3、照度
a)在工作台面上,沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点,测量点之间的距离不超过300mm,与侧壁距离为150mm;
b)关掉安全柜的灯,从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx;
4、下降气流流速
在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置,多点测量穿过该平面的下降气流流速;
a)测量点等距分布,形成的正方形栅格不大于150mm×150mm,测试点**少应有3排,每排**少应有7个测量点;
b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。
5、流入气流流速
测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)
a)用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速,测量点为不大于100mm×100mm的栅格点,边界点距过滤器边缘100mm,测量面与过滤器面的距离约100mm;
b)计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速(m/s),平均排气流速乘以排气面积(m2),得到排气流量(m3/s);
c)排气流量(m3/s)除以前窗操作口面积(m2),得到平均流入气流流速(m/s); 上海洁净工作台检测值得推荐
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每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...