而化学机械抛光(Chemical mechanical polishing,CMP)是集成电路芯片的一个关键制程,国内抛光所用关键材料CMP抛光垫,几乎全部依赖进口。CMP典型的抛光浆料都是纳米级发烟硅石(5Vol%,170-230nm)、高纯硅胶(9Vol%,6-80nm)、氧化铈(6Vol%,200-240nm)或氧化铝颗粒,它们的粒度或粒度分布必须小心地进行控制以免在抛光面上产生刮痕。CMP浆料的分散稳定性和保存期也是必须被认真考虑的重要环节。这种纳米浆料的使用浓度一般在(5-30W%),容易聚集。随着贮存时间延长,它的粒度可能增大从而导致损害的产生。驰光通过专业的知识和可靠技术为客户提供服务。天津高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪哪家好
应用实例:测量高纯氧化铝粉。一般来说,含量大于99%的氧化铝称为高纯氧化铝,其特性有耐化学腐蚀、耐高温(正常使用在1600℃,短期1800℃)、耐骤冷骤热、密度高等。99.995%高纯氧化铝粉主要用于LED人造蓝宝石晶体、高级陶瓷、PDP荧光粉及其他高性能材料;99.99%高纯氧化铝粉用于高压钠灯、新型发光材料、特殊陶瓷、高级涂层、三基色、催化剂及其他高性能材料。粒度是高纯氧化铝粉产品的重要指标,CPS纳米粒度分析仪能给您带来确切稳定的测量结果。使用CPS分析仪平行测定3次高纯氧化铝粉得到的叠加图。陕西高精度纳米粒度分析仪驰光机电科技和客户携手诚信合作,共创辉煌!
CPS纳米粒度分析仪测量参数:粒径、粒形和浓度;粒径范围:0.1-3600μm;浓度范围:高达109颗粒/cm3(对1μm颗粒);供样方式:液体、干粉、表面;系统规格/重量电源:665L×280W×183H(mm);14Kg;100-130V,205-240V,50/60Hz,100VA;2mW He-Ne,632.8nm,硅PIN二极管检测器;全量程的0.3%,小可达0.2μm;同步频闪光源,亮度和持续时间可调;频闪率;可达30次/秒。分辨率B&W CCD摄像机。NTSC 840×640像素;PAL768×572像素。Windows XP操作系统,检测报告自动生成,符合FDA 21 CFRPART11标准。ISO标准;符合多项ISO方法标准;测量池模块:液体、乳液/不透明液体、干粉、纤维、磁性颗粒、加热液体及气溶胶。
标定CPS使用的标定颗粒都与美国标准和技术研究院(NIST)的其它标准进行过交叉对比,确保均值、峰宽或者半峰宽等方面的误差在±2%之内,而且颗粒的团聚性也符合要求。可选标定颗粒:直径小于10微米的标定颗粒通常以悬液的形式保存在水中,当然也可以保存在非水基悬液中。大于10微米可以有三种形态,水基悬液,非水基悬液或者干粉状态。每一套标定颗粒都有其粒度分析结果和分析证书。应用实例:PEDOT及其复合材料的粒径测量PEDOT是EDOT(3,4-乙撑二氧噻吩单体)的聚合物,PEDOT具有高电导率、高度的环境稳定性。山东驰光机电科技有限公司热忱欢迎新老客户惠顾。
而CMP工艺离不开研磨料的发展,那么对于磨料的颗粒粒度表征就显得尤为重要了。CMP就是用化学腐蚀和机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平滑处理。将硅片固定在抛光头的较下面,将抛光垫放置在研磨盘上,抛光时,旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上,由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的研磨液在硅片表面和抛光垫之间流动,然后研磨液在抛光垫的传输和离心力的作用下,均匀分布其上,在硅片和抛光垫之间形成一层研磨液液体薄膜。驰光机电科技有限公司以快的速度提供前列的产品质量和好的价格及完善的售后服务。山西粒度分析仪报价
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特别是在涉及危险化学品、高温、高压等实验条件下,应严格按照操作规程进行。防止交叉污染:在实验过程中,操作人员应采取措施防止交叉污染,如使用适当的试剂瓶、容器和移液器,避免不同试剂之间的交叉污染。注意观察和记录异常情况:操作人员在实验过程中应注意观察仪器和实验条件的变化,如发现异常情况应及时停止实验,采取必要措施并记录。仪器的维护与保养,定期维护与保养:操作人员应定期对仪器进行维护与保养,包括清洁仪器表面、检查仪器附件是否完好、更换消耗品等。确保仪器保持良好的工作状态和准确性。我们愿与您共同努力,共担风雨,合作共赢。辽宁纳米粒度分析仪报价以下是实验室分析仪的一些常见故障及排除方法:仪器无法启动,...