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RuO2薄膜掠入射XRD-GID引言薄膜材料就是厚度介于一个纳米到几个微米之间的单层或者多层材料。由于厚度比较薄，薄膜材通常依附于一定的衬底材料之上。常规的XRD测试，X射线的穿透深度一般在几个微米到几十个微米，这远远大于薄膜的厚度，导致薄膜的信号会受到衬底的影响（图1）。另外，如果衍射简单较高，那么X射线只能辐射到部分样品，无法利用整个样品的体积，衍射信号弱。薄膜掠入射衍射（GID：GrazingIncidenceX-RayDiffraction）很好的解绝了以上问题。所谓掠入射是指使X射线以非常小小的入射角（＜5°）照射到薄膜上，小的入射角大大减小了在薄膜中的穿透深度，同时增加衍射颗粒的数目和x射线在薄膜中的光程。这里有两点说明：GID需要硬件配置；常规GID只适合多晶薄膜和非晶薄膜，不适合单晶外延膜。在DIFFRAC.LEPTOS中，使用sin2psi法，用Cr辐射进行测量，对钢构件的残余应力进行分析。全新XRD衍射仪销售电话

薄膜和涂层分析采用的原理与XRPD相同，不过进一步提供了光束调节和角度控制功能。典型示例包括但不限于相鉴定、晶体质量、残余应力、织构分析、厚度测定以及组分与应变分析。在对薄膜和涂层进行分析时，着重对厚度在nm和µm之间的层状材料进行特性分析（从非晶和多晶涂层到外延生长薄膜）。D8 ADVANCE和DIFFRAC.SUITE软件可进行以下高质量的薄膜分析：掠入射衍射X射线反射法高分辨率X射线衍射倒易空间扫描。由于具有出色的适应能力，使用D8ADVANCE，您就可对所有类型的样品进行测量：从液体到粉末、从薄膜到固体块状物。无论是新手用户还是**用户，都可简单快捷、不出错地对配置进行更改。这都是通过布鲁克独特的DAVINCI设计实现的：配置仪器时，免工具、免准直，同时还受到自动化的实时组件识别与验证的支持。江苏授权代理商XRD衍射仪共同合作所有样品台都是DIFFRAC.DAVINCI概念的组成部分，因此元件及其电动驱动装置可在安装时自动完成识别和配置。

D8 DISCOVER特点：微焦源IµS

配备了MONTEL光学器件的IµS微焦源可提供小X射线束，非常适合小范围或小样品的研究。

1.毫米大小的光束：高亮度和很低背景

2.绿色环保设计：低功耗、无耗水、使用寿命延长

3.MONTEL光学器件可优化光束形状和发散度

4.与布鲁克大量组件、光学器件和探测器完全兼容。

5.提供各种技术前列的全集成X射线源，用于产生X射线。

6.工业级金属陶瓷密封管，可实现线焦斑或点焦斑。

7.专业的TWIST-TUBE（旋转光管）技术，可快速简便地切换线焦斑和点焦斑。

8.微焦斑X射线源（IµS）可提高极小焦斑面积上的X射线通量，而功耗却很低。

9.TURBOX射线源（TXS）旋转阳极可为线焦斑、点焦斑和微焦斑等应用提供比较高X射线通量。

10.**性液态金属靶METALJET技术，可提供无出其右的X射线光源亮度。

11.高效TurboX射线源（TXS-HE）可为点焦斑和线焦斑应用提供比较高X射线通量，适用于D8DISCOVERPlus。

12.这些X射线源结合指定使用X射线光学元件，可高效捕获X射线，并将之转化为针对您的应用而优化的X射线束。

薄膜和涂层薄膜和涂层分析采用的原理与XRPD相同，不过进一步提供了光束调节和角度控制功能。典型示例包括但不限于相鉴别、晶体质量、残余应力、织构分析、厚度测定以及组分与应变分析。在对薄膜和涂层进行分析时，着重对厚度在nm和µm之间的层状材料进行特性分析，从非晶和多晶涂层到外延生长薄膜等。D8 ADVANCE和DIFFRAC.SUITE软件可进行以下高质量的薄膜分析：掠入射衍射X射线反射高分辨率X射线衍射倒易空间扫描，由于具有出色的适应能力，使用D8ADVANCE，您就可对所有类型的样品进行测量：从液体到粉末、从薄膜到固体块状物。无论是新手用户还是**用户，都可简单快捷、不出错地对配置进行更改。这都是通过布鲁克独特的DAVINCI设计实现的：配置仪器时，免工具、免准直，同时还受到自动化的实时组件识别与验证的支持。不仅如此——布鲁克提供基于NIST标样刚玉（SRM1976）的准直保证。目前，在峰位、强度和分辨率方面，市面上尚无其他粉末衍射仪的精度超过D8ADVANCE。PATHFINDERPlus光学器件有一个确保测得强度的线性的自动吸收器，并可在以下之间切换：电动狭缝，分光晶体。

X射线衍射（XRD）和反射率是对薄层结构样品进行无损表征的重要方法。D8 DISCOVER和DIFFRAC.SUITE软件将有助于您使用常见的XRD方法轻松进行薄膜分析：

掠入射衍射（GID）：晶相表面灵敏识别及结构性质测定，包括微晶尺寸和应变。

X射线反射率测量（XRR）：用于提取从简单的基底到高度复杂的超晶格结构等多层样品的厚度、材料密度和界面结构信息。

高分辨率X射线衍射（HRXRD）：用于分析外延生长结构：层厚度、应变、弛豫、镶嵌、混合晶体的成分分析。

应力和织构（择优取向）分析。 在DIFFRAC.LEPTOS中，对多层样品进行XRR分析，测定其薄膜厚度、晶格失配和混合晶体浓度。浙江全新XRD衍射仪技术指导

D8D为药品的整个生命周期提供支持，包括结构测定、候选材料鉴别、配方定量和非环境稳定性测试。全新XRD衍射仪销售电话

薄膜和涂层分析采用的原理与XRPD相同，不过进一步提供了光束调节和角度控制功能。典型示例包括但不限于相鉴定、晶体质量、残余应力、织构分析、厚度测定以及组分与应变分析。在对薄膜和涂层进行分析时，着重对厚度在nm和µm之间的层状材料进行特性分析（从非晶和多晶涂层到外延生长薄膜）。D8 ADVANCE和DIFFRAC.SUITE软件可进行以下高质量的薄膜分析：掠入射衍射X射线反射法高分辨率X射线衍射倒易空间扫描

由于具有出色的适应能力，使用D8 ADVANCE，您就可对所有类型的样品进行测量：从液体到粉末、从薄膜到固体块状物。 全新XRD衍射仪销售电话

束蕴仪器（上海）有限公司主营品牌有布鲁克,弗莱贝格,PHI,ICDD，发展规模团队不断壮大，该公司贸易型的公司。公司致力于为客户提供安全、质量有保证的良好产品及服务，是一家有限责任公司（自然）企业。公司业务涵盖布鲁克显微CT1272，布鲁克XRD衍射仪D8，布鲁克显微CT2214，布鲁克XRD衍射仪D2，价格合理，品质有保证，深受广大客户的欢迎。束蕴仪器将以真诚的服务、创新的理念、***的产品，为彼此赢得全新的未来！