混合设置:在一些项目中,大部分清洁生产区安装的净化空调装置既采用集中净化空调机房,又在特定的局部空间采用分散式净化空调装置,以满足生产工艺的需要。它具有集中和分散的特点,更经济、更灵活,满足了产品生产的要求。近年来,在大规模集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元(FFU)送风方式,各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式,即新风处理机集中设置,循环空气机组分散设置。(上海天翎净化工程有限公司)单向流净化室一般有两种类型,即水平流和垂直流。上海设计施工一站式服务净化室专业施工团队
净化室在设计的同时,要保证所有的厂房的建筑面积或者空间布局,全部都要有着适当的灵活性,而且整个区域的主体结构千万不要采用那种内墙承重的方式。净化室设计的时候,要根据整个厂房的主体结构的耐久性,或者适合室内装备以及装修水平相协调的情况之下来进行设定,他们的设定本身也都具有着一定的防火的特性,而且将有着更多的控制特色,整个温度通过变形或者是不均匀的方式来进行沉降性的设定,地震区域应该符合抗震的设计规定,甚至在整个设定的过程当中,要保证所有的厂房避免穿过洁净区。
上海设计施工一站式服务净化室专业施工团队不同级别的净化室或洁净区与非净化室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。层流式净化室:层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式净化室:复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。(3)并装局部洁净室:将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净棚、装配式洁净室、洁净衣柜即属此类。洁净工作台:等级Class1~100级。洁净棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用**之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮。 净化室的主要功能为室内污染控制,没有净化室,污染敏感零件不可能批量生产。
在设计十万级净化室工程送回风的时候,风口风速的确定非常关键。一般来讲,顶棚风口的送风风速需控制在3~5m/s,侧送风口相对复杂,如果是贴附射流则需控制在2~5m/s,若是在非贴附射流同侧强的回风口,需要将风速控制在1~2.5m/s。根据十万级净化室工程的建设经验,净化室内的回风口应少于3个,过道内回风口应少于5个,风口的大小不宜过大或过小。
净化室工程跟普通的装修工程不同,它在设计和施工上都有着更为严格的标准要求。装修公司若想承接此类工程,必需要具备专业的设计能力,拥有专业的技术施工人员。净化室工程的等级不同,对应的设计和施工难度不同,下面我们就走进十万级净化室的装修工作中,了解净化室的送回风方式和相关要求。 净化室的洁净度往往受到气流的影响,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。江苏品质净化室专业施工团队
洁净室安全管理制订和严格执行洁净室的安全管理制度和安全报警管理制度等。上海设计施工一站式服务净化室专业施工团队
分散设置、工厂建筑面积大或生产区域太分散,计算机房集中安装使布置困难,经技术经济比较,也可分为若干机房。在技术改造工程中,往往因原有房屋空间条件所限,需将净化空调设备分散设置在各净化室的附近。分散设置方式的风管短,布置灵活,较能适应和利用原有空间,但在实际应用时应充分考虑噪声与振动对产品生产可能带来的影响。
净化空调系统、水、气净化装置和电气装置是清洁厂房的重要组成部分。它们的面积在洁净厂房建造中占有较大比例。这些洁净厂房的规模、设备特点、位置及其配水管网的布置对洁净厂房的空间组合和规模有很大的影响。为了取得良好的使用效果和经济性,有必要解决它们与生产过程之间的布局关系。 上海设计施工一站式服务净化室专业施工团队