我司自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,能精细掌控温度变化。温度波动控制可选 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多档,满足严苛温度需求。该系统洁净...
光刻设备对温湿度的要求也极高,光源发出的光线需经过一系列复杂的光学系统聚焦到硅片表面特定区域,以实现对光刻胶的曝光,将设计好的电路图案印制上去。当环境温度出现极其微小的波动,哪怕只是零点几摄氏度的变化...
在科研与工业制造等众多领域,光学仪器如激光干涉仪、光学显微镜、电子显微镜等,发挥着无可替代的关键作用,而它们对运行环境的要求极为苛刻,尤其是温湿度、洁净度以及抗微震性能。精密环控柜的出现,为这些精密仪...
自动安全保护系统是精密环控柜的重要保障,为设备的稳定运行和用户的使用安全提供防护。故障自动保护程序时刻监控设备的运行状态,一旦检测到异常情况,如温度过高、压力过大、电气故障等,系统会立即启动相应的保护...
如在航空航天领域的制造工艺对精度要求极高,任何微小的误差都可能在飞行器高速飞行、复杂环境运行时引发严重后果。精密环控柜在航空航天精密制造过程中扮演着保驾护航的角色。在航空发动机零部件的制造中,如涡轮叶...
精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通...
激光干涉仪以其纳米级别的测量精度,在半导体制造、精密机械加工等领域发挥着关键作用。然而,它对环境变化极为敏感,温度、湿度的微小波动以及空气洁净度的差异,都可能干扰激光的传播路径与干涉效果,致使测量结果...
在电池的组装工序中,温湿度的波动对产品质量和性能的影响不容小觑。温度一旦发生变化,无论是电池外壳,还是内部各种组件,都会不可避免地产生热胀冷缩现象。倘若各部件的膨胀或收缩程度存在差异,组装过程便会困难...
在芯片这一高科技产品的复杂生产流程里,众多环节对温湿度的波动展现出了近乎苛刻的精密度要求。光刻过程中,利用高精度的光刻设备,将预先设计好的复杂电路图案转移至硅片表面。温度的稳定性起着决定性作用,哪怕有...
如在航空航天领域的制造工艺对精度要求极高,任何微小的误差都可能在飞行器高速飞行、复杂环境运行时引发严重后果。精密环控柜在航空航天精密制造过程中扮演着保驾护航的角色。在航空发动机零部件的制造中,如涡轮叶...
在电池的组装工序中,温湿度的波动对产品质量和性能的影响不容小觑。温度一旦发生变化,无论是电池外壳,还是内部各种组件,都会不可避免地产生热胀冷缩现象。倘若各部件的膨胀或收缩程度存在差异,组装过程便会困难...
芯片蚀刻时,刻蚀速率的均匀性对芯片电路完整性至关重要。温度波动如同 “蝴蝶效应”,可能引发刻蚀过度或不足。精密环控柜稳定的温度控制,以及可达 ±0.5%@8h 的湿度稳定性,有效避免因环境因素导致的刻...